Пьезо-предмет для быстрой фокусировки и автофокусировки

Jan 23, 2024

Линейка позиционеров линз PI, предназначенных для сканирования и позиционирования объективов с субнанометровым разрешением и высокой пропускной способностью, расширяется за счет нового поколения пьезо-предметов с Z-фокусировкой — семейства продуктов P-725 PIFOC с пьезо-изгибающими столиками. Доступный в трех диапазонах перемещения: 100 мкм, 400 мкм и лучший в отрасли 800 мкм, высокопроизводительная быстрая фокусировка с нанометровой точностью достигается для таких приложений, как микроскопия сверхвысокого разрешения, метрология пластин и лазерная обработка материалов. Предметы следующего поколения P-725 не только обеспечивают более высокую производительность, но и проще в установке, более компактны и позволяют использовать несколько модулей в одной турели микроскопа.

Оснащенный датчиками прямого измерения для обеспечения высочайшей линейности и стабильности, пьезопривод без трения обеспечивает быстрый отклик, высокую жесткость и быстрое время стабилизации в несколько миллисекунд. Компьютерно-оптимизированная система гибких направляющих без люфтов повышает повторяемость и стабильность фокусировки.

Фокусировочные столики с пьезоизгибным управлением и звуковая катушка – фокусировочные столики со скрещенными роликами

PI предлагает оба решения, они удовлетворяют схожим, а иногда и различным требованиям. Фокусирующие ступени с пьезоизгибным управлением более компактны, обеспечивают лучшую прямолинейность, плоскостность и уменьшенную угловую погрешность, широко известную как точность наведения. Направляющие изгиба также не подвержены трению и износу. Однако диапазон движения ограничен. Для более длинных диапазонов перемещения можно использовать столики со звуковой катушкой и перекрестными роликовыми подшипниками, такие как фокусирующий столик PI V-308 с вертикальным ходом 7 мм и настраиваемым пользователем противовесом. Еще одним вариантом для более длительного перемещения с не требующей трения, неизнашиваемой и высокоточной направляющей системой является недавно представленная небольшая направляющая на воздушном подшипнике со звуковой катушкой A-142.

Цифровой контроллер с быстрой фокусировкой, фиксацией и автоматическим сканированием

Наряду с этапами фокусировки был разработан новый компактный цифровой пьезо-сервоконтроллер/драйвер E-709, обеспечивающий частоту дискретизации 20 кГц, что вдвое превышает мощность его предшественника, а также многократно увеличивает разрешение. Расширенные функции, такие как линеаризация 4-го порядка для улучшения качества изображения, высокоскоростное отслеживание и уникальная функция PI Fast Focus & Freeze, позволяющая плавно переключать устройство с внешнего датчика (фокусировки) на датчик положения, встроенный в этап фокусировки, что обеспечивает точную точность. , калиброванные, устойчивые движения относительно фокальной плоскости. В комплект входит комплексный пакет программного обеспечения: драйверы для LabVIEW, динамические библиотеки для Windows и Linux, MATLAB, MetaMorph, µManager и т. д. Интерфейсы включают USB, SPI, RS-232 и аналоговый. Поддерживаемые функции включают генератор волн, регистратор данных, автоматический обнуление и триггерный вход/выход.

Для получения дополнительной информации: www.phykinstrumente.com.

ССЫЛКА НА ГЛАВНУЮ СТРАНИЦУ